六氟化硫_金陵长元工业气体有限公司
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六氟化硫
发布时间:2016-5-25 0:44:19  阅读:959
六氟化硫(SF6 )                 

                         












包装:
采用40L钢瓶充装,也可根据客户需要,分装到2-10L的气瓶中。

用途:在半导体生产中用作高密度等离子刻蚀的氟源,不会产生含碳副产品;变压器中的绝缘介质;金属冶炼中的保护气氛。
理化性质: 六氟化硫(SF6)常态下是一种无色、无味、无嗅、无毒的非燃烧性气体,分子量146.06,密度6.139g/l,约为空气的5倍。是已知化学安定性最好的物质之一,其惰性与氮气相似。它具有极好的热稳定性,纯态下即使在500℃以上也不分解。六氟化硫具有卓越的电绝缘性和灭弧特性,相同条件下,其绝缘能力为空气、氮气的2.5倍以上,灭弧能力为空气的100倍。六氟化硫的熔点为-50.8℃,可作为-45-0℃温度范围内的特殊制冷剂,又因其耐热性好,是一种稳定的高温热载体。

注意事项:

密闭操作,局部排风。操作人员必须经过专门培训,严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴过滤式防毒面具(半面罩)。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。

储存注意事项:储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易(可)燃物、氧化剂分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。

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